MECHANISMS OF THE BIASED SPUTTERING OF TITANIUM IN AN AR-N2 MIXTURE

被引:15
作者
POITEVIN, JM
LEMPERIERE, G
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(84)90298-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页数:8
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