A THEORETICAL-STUDY OF THE EPITAXIAL-GROWTH OF METAL OVERLAYERS ON SEMICONDUCTOR SURFACES

被引:9
作者
BATRA, IP [1 ]
CIRACI, S [1 ]
机构
[1] MIDDLE E TECH UNIV,DEPT PHYS,ANKARA,TURKEY
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.582889
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:427 / 432
页数:6
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