CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS-SILICON DURING THIN-FILM GOLD REACTION

被引:215
作者
HULTMAN, L
ROBERTSSON, A
HENTZELL, HTG
ENGSTROM, I
PSARAS, PA
机构
[1] UNIV UPPSALA,INST CHEM,S-75121 UPPSALA,SWEDEN
[2] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1063/1.339244
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:3647 / 3655
页数:9
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