A THERMALLY-EXCITED SILICON ACCELEROMETER

被引：32

作者：

SATCHELL, DW

GREENWOOD, JC

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 17卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)80086-1

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：241 / 245

页数：5

共 4 条

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GREENWOOD, JC .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1988, 21 (12) :1114-1128

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