METALORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF III-V-SEMICONDUCTORS

被引:85
作者
DUPUIS, RD
机构
关键词
D O I
10.1126/science.226.4675.623
中图分类号
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要
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页数:7
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