COMPARATIVE OXIDATION STUDIES OF SIC(0001) AND SIC(0001) SURFACES

被引:78
作者
MUEHLHOFF, L [1 ]
BOZACK, MJ [1 ]
CHOYKE, WJ [1 ]
YATES, JT [1 ]
机构
[1] UNIV PITTSBURGH,CTR SURFACE SCI,DEPT CHEM,PITTSBURGH,PA 15260
关键词
D O I
10.1063/1.337121
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2558 / 2563
页数:6
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