VARIABLE ANGLE OF INCIDENCE SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRIC CHARACTERIZATION OF TIO2 AG TIO2 OPTICAL COATINGS

被引:19
作者
MEMARZADEH, K [1 ]
WOOLLAM, JA [1 ]
BELKIND, A [1 ]
机构
[1] BOC,TECH CTR GRP,MURRAY HILL,NJ 07974
关键词
D O I
10.1063/1.342491
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:3407 / 3410
页数:4
相关论文
共 13 条