SUPERCONDUCTING TRANSITION-TEMPERATURES OF REACTIVELY SPUTTERED FILMS OF TANTALUM NITRIDE AND TUNGSTEN NITRIDE

被引:27
作者
KILBANE, FM [1 ]
HABIG, PS [1 ]
机构
[1] ARMCO STEEL CORP,RES & TECHNOL,MIDDLETOWN,OH 45043
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568734
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:107 / 109
页数:3
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