INFLUENCE OF A THIN OXIDE LAYER BETWEEN METAL AND SEMICONDUCTOR ON SCHOTTKY DIODE BEHAVIOR

被引:39
作者
NICOLLIAN, EH [1 ]
SCHWARTZ, B [1 ]
COLEMAN, DJ [1 ]
RYDER, RM [1 ]
BREWS, JR [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.569058
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1047 / 1055
页数:9
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