A MONOLITHIC GAS-FLOW SENSOR WITH POLYIMIDE AS THERMAL INSULATOR

被引：35

作者：

STEMME, GN

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1986.22696

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1470 / 1474

页数：5

共 8 条

[1] ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON [J].

BEAN, KE .

[2]

HUYSING JH, 1980, DEC P VAST STOF SENS, P39

[3] SILICON AS A MECHANICAL MATERIAL [J].

PETERSEN, KE .

[4]

REHN LA, 1980, SAE T, V89, P705

[5]

Van Putten A. F. P., 1983, Sensors and Actuators, V4, P387, DOI 10.1016/0250-6874(83)85049-5

[6] INTEGRATED SILICON ANEMOMETER [J].

VANPUTTE.AF ;

MIDDELHOEK, S .

[7] INTEGRATED DIRECTION-SENSITIVE FLOWMETER [J].

VANRIET, RWM ;

HUIJSING, JH .

[8]

WELTY JR, 1978, ENG HEAT TRANSFER