SCANNING ION MICROSCOPY AND MICROSECTIONING OF ELECTRON-BEAM RECRYSTALLIZED SILICON ON INSULATOR DEVICES

被引：22

作者：

KIRK, ECG

MCMAHON, RA

CLEAVER, JRA

AHMED, H

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584137

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1940 / 1943

页数：4

共 5 条

[1]

ANTONIADIS DA, 1984, MATER RES SOC S P, V23, P587

[2] A 100-KV ION PROBE MICROFABRICATION SYSTEM WITH A TETRODE GUN [J].

CLEAVER, JRA ;

AHMED, H .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1981, 19 (04) :1145-1148

DAVIS, JR ;

MCMAHON, RA ;

AHMED, H .

KIRK, ECG ;

CLEAVER, JRA ;

AHMED, H .

SMITH, DA ;

MCMAHON, RA ;

AHMED, H ;

BARFOOT, KM ;

PETERS, TB ;

HOPPER, GF ;

GODFREY, DJ .