SPUTTERING OF MULTICOMPONENT MATERIALS - THE DIFFUSION LIMIT

被引:36
作者
OLIVA, A [1 ]
KELLY, R [1 ]
FALCONE, G [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(86)90688-6
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页数:16
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