MEASUREMENT OF THE RESISTIVITY OF EPITAXIAL VAPOR GROWN FILMS OF SILICON BY AN INFRARED TECHNIQUE

被引：14

作者：

RAWLINS, TGR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2426258

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：810 / 814

页数：5

共 15 条

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