CORRELATION OF ELECTRICAL CARRIER AND ATOMIC PROFILES OF MG IMPLANTS IN GAAS

被引:24
作者
YEO, YK
PARK, YS
PEDROTTI, FL
CHOE, BD
机构
[1] USAF,WRIGHT AERONAUT LABS,AVION LAB,WRIGHT PATTERSON AFB,OH 45443
[2] MARQUETTE UNIV,DEPT PHYS,MILWAUKEE,WI 53233
[3] SEOUL NATL UNIV,DEPT PHYS,SEOUL,SOUTH KOREA
关键词
D O I
10.1063/1.331579
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:6148 / 6153
页数:6
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