THEORETICAL PREDICTIONS OF THE LATERAL SPREADING OF IMPLANTED IONS

被引：13

作者：

ASHWORTH, DG

OVEN, R

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS C-SOLID STATE PHYSICS | 1986年 / 19卷 / 29期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3719/19/29/004

中图分类号：

O469 [凝聚态物理学];

学科分类号：

070205 ;

摘要：

引用

页码：5769 / 5781

页数：13

共 7 条

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