DIRECT TRANSFER OF RESIST GRATING PATTERNS ONTO INP BY REACTIVE-ION ETCHING USING CCL4/O2

被引:3
作者
HIRATA, K
MIKAMI, O
SAITOH, T
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 01期
关键词
INDIUM PHOSPHIDE;
D O I
10.1116/1.582913
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:4
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