SCANNING ELLIPSOMETER BY ROTATING POLARIZER AND ANALYZER

被引:58
作者
CHEN, LY
LYNCH, DW
机构
关键词
D O I
10.1364/AO.26.005221
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
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页码:5221 / 5228
页数:8
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