ANOMALOUS DIFFUSION AND GETTERING OF TRANSITION-METALS IN SILICON

被引:33
作者
SPARKS, DR
CHAPMAN, RG
ALVI, NS
机构
关键词
D O I
10.1063/1.97100
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:525 / 527
页数:3
相关论文
共 14 条