共 12 条
PLASMA-ETCHING WITH SURFACE MAGNETIC-FIELD CONFINEMENT
被引:23
作者:
MANTEI, TD
WICKER, T
机构:
关键词:
D O I:
10.1063/1.94130
中图分类号:
O59 [应用物理学];
学科分类号:
摘要:
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