LIFT-OFF PROCESS FOR ACHIEVING FINE-LINE METALLIZATION

被引：9

作者：

MILGRAM, AA ^{[1
]}

机构：

[1] FAIRCHILD ADV RES & DEV LAB,PALO ALTO,CA 94304

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.582632

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：490 / 493

页数：4