OPTICAL AND ELECTRICAL-PROPERTIES OF CHLORINATED AND HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON PREPARED BY GLOW-DISCHARGE

被引:31
作者
CHEVALLIER, J
KALEM, S
ALDALLAL, S
BOURNEIX, J
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(82)90148-X
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:277 / 290
页数:14
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