LINEARITY AND ENHANCED SENSITIVITY OF SHIPLEY AZ-1350B PHOTORESIST

被引:12
作者
LIVANOS, AC [1 ]
KATZIR, A [1 ]
SHELLAN, JB [1 ]
YARIV, A [1 ]
机构
[1] CALTECH, PASADENA, CA 91125 USA
关键词
D O I
10.1364/AO.16.001633
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:1633 / 1635
页数:3
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