DETECTION OF SIH2 IN SILANE AND DISILANE GLOW-DISCHARGES BY FREQUENCY-MODULATION ABSORPTION-SPECTROSCOPY

被引：44

作者：

JASINSKI, JM

WHITTAKER, EA

BJORKLUND, GC

DREYFUS, RW

ESTES, RD

WALKUP, RE

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1984年 / 44卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.94675

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1155 / 1157

页数：3

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共 23 条

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BRODSKY, MH ;

GREEN, DC ;

KIRBY, PB ;

PLECENIK, RM ;

SIMONYI, EE .

APPLIED PHYSICS LETTERS, 1980, 37 (08) :725-727

[22] KINETICS AND MECHANISM OF AMORPHOUS HYDROGENATED SILICON GROWTH BY HOMOGENEOUS CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION [J].

SCOTT, BA ;

PLECENIK, RM ;

SIMONYI, EE .

APPLIED PHYSICS LETTERS, 1981, 39 (01) :73-75

[23]

WHITTAKER EA, UNPUB