NUMERICAL-SIMULATION FOR GAS-FLOW AND MASS-TRANSFER IN A DRY ETCHING CHAMBER

被引：16

作者：

KOBAYASHI, J

NAKAZATO, N

HIRATSUKA, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2097012

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1781 / 1786

页数：6

共 8 条

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