DETERMINATION OF OXYGEN IN SILICON BY PHOTON-ACTIVATION ANALYSIS FOR CALIBRATION OF THE INFRARED-ABSORPTION

被引:21
作者
RATH, HJ [1 ]
STALLHOFER, P [1 ]
HUBER, D [1 ]
SCHMITT, BF [1 ]
机构
[1] BUNDESANSTALT MAT PRUFUNG,D-1000 BERLIN 45,FED REP GER
关键词
D O I
10.1149/1.2115991
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:1920 / 1922
页数:3
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