WINDOW CLEANING AND FLUORINE INCORPORATION BY XEF2 IN PHOTOCHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:2
作者
LANGFORD, AA
BENDER, J
FLEET, ML
STAFFORD, BL
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.584766
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:437 / 442
页数:6
相关论文
共 31 条