SPUTTERING AND ION-SOURCE TECHNOLOGY

被引:19
作者
ANDERSEN, HH [1 ]
机构
[1] IBM CORP THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1109/TNS.1976.4328383
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页数:8
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