LPCVD OXIDE LPCVD NITRIDE STACKS FOR INTERPOLY DIELECTRICS

被引：8

作者：

HUANG, TY ^{[1
]}

COLEMAN, DJ ^{[1
]}

PATERSON, JL ^{[1
]}

机构：

[1] TEXAS INSTRUMENTS INC,CTR SEMICOND PROC & DESIGN,DALLAS,TX 75265

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2114133

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1406 / 1409

页数：4

共 8 条

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