THE DEPENDENCE OF DROPLET CHARGE-DISTRIBUTION ON FREQUENCY IN LIQUID-METAL ION SOURCES

被引:5
作者
BAHASADRI, A [1 ]
BROWN, WL [1 ]
SAEDI, R [1 ]
POURREZAEI, K [1 ]
机构
[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.584128
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:2085 / 2089
页数:5
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