SUPPRESSION OF SPUTTERING OF NICKEL BY COVERAGE WITH SELF-SUSTAINING THIN SEGREGATED CARBON LAYERS

被引：28

作者：

MORITA, K

TSUCHIYA, T

HAYASHIBARA, M

ITOH, N

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3115(83)90292-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：63 / 68

页数：6

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共 14 条

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