PHOTOEXCITATION EFFECTS ON THE GROWTH-RATE IN THE VAPOR-PHASE EPITAXIAL-GROWTH OF GAAS

被引:29
作者
NISHIZAWA, J
KOKUBUN, Y
SHIMAWAKI, H
KOIKE, M
机构
[1] SEMICOND RES INST,SENDAI 980,JAPAN
[2] TOHOKU UNIV,ELECT COMMUN RES INST,SENDAI,MIYAGI 980,JAPAN
关键词
D O I
10.1149/1.2114257
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:1939 / 1942
页数:4
相关论文
共 8 条