LOW-TEMPERATURE ZN-DIFFUSION AND CD-DIFFUSION PROFILES IN INP AND FORMATION OF GUARD RING IN INP AVALANCHE PHOTO-DIODES

被引:36
作者
ANDO, H
SUSA, N
KANBE, H
机构
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1982.20890
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1408 / 1413
页数:6
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