GROWTH OF PLASMA-TRANSPORT MICROCRYSTALLINE SILICON AS STUDIED BY INSITU RAMAN-SPECTROSCOPY

被引:9
作者
RICHTER, H
LEY, L
机构
来源
JOURNAL DE PHYSIQUE | 1982年 / 43卷 / NC1期
关键词
D O I
10.1051/jphyscol:1982134
中图分类号
学科分类号
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页码:247 / 251
页数:5
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