ION-BEAM SUPPRESSION OF HILLOCK GROWTH IN ALUMINUM THIN-FILMS

被引：7

作者：

PEACOCK, N

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(88)90292-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：173 / 180

页数：8

共 8 条

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