PROPERTIES OF MO-SILICIDES IN SI-GATE TECHNOLOGY

被引：14

作者：

NEPPL, F

MENZEL, G

SCHWABE, U

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2119912

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1174 / 1178

页数：5

共 7 条

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