INVESTIGATION OF DC PLANAR-MAGNETRON-SPUTTERED PALLADIUM FILMS BY SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY

被引:1
作者
SULLIVAN, BT
PARSONS, RR
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(87)90372-5
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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