TARGET HEATING DURING ION-IMPLANTATION

被引:83
作者
PARRY, PD [1 ]
机构
[1] WESTERN ELECT ENGN RES CTR,PRINCETON,NJ 08540
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.569046
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:622 / 629
页数:8
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