ALUMINUM NITRIDE THIN-FILMS AND THEIR PROPERTIES

被引：14

作者：

WINSZTAL, S ^{[1
]}

WNUK, B ^{[1
]}

MAJEWSKAMINOR, H ^{[1
]}

NIEMYSKI, T ^{[1
]}

机构：

[1] RES CTR CRYSTALS,ZIELNA 37,WARSAW,POLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90307-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：251 / 254

页数：4

共 5 条

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