NON-DESTRUCTIVE CHARACTERIZATION OF ELECTRICAL UNIFORMITY IN SEMI-INSULATING GAAS SUBSTRATES BY MICROWAVE PHOTOCONDUCTANCE TECHNIQUE

被引:9
作者
HASEGAWA, H
OHNO, H
SHIMIZU, H
SEKI, S
机构
关键词
D O I
10.1007/BF02655308
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页数:18
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