SYNTHESIS OF NISI2 BY 6 MEV NI IMPLANTATION INTO SILICON

被引:32
作者
LINDNER, JKN
KAAT, EHT
机构
关键词
D O I
10.1557/JMR.1988.1238
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:1238 / 1246
页数:9
相关论文
共 33 条