SEVERE LOSS OF DOPANT ACTIVITY DUE TO CHF3+CO2 REACTIVE ION ETCH DAMAGE

被引：21

作者：

MIKKELSEN, JC

WU, IW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.97399

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：103 / 105

页数：3

共 6 条

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ANNUAL REVIEW OF MATERIALS SCIENCE, 1983, 13 :91-116

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ROHATGI, A ;

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TSANG, JC ;

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