BORON SEGREGATION AT SI-SIO2 INTERFACE AS A FUNCTION OF TEMPERATURE AND ORIENTATION

被引：50

作者：

COLBY, JW ^{[1
]}

KATZ, LE ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2132838

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：409 / 412

页数：4

共 26 条

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