REACTIVELY SPUTTERED RUO2 DIFFUSION-BARRIERS

被引：107

作者：

KOLAWA, E

SO, FCT

PAN, ETS

NICOLET, MA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.98012

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：854 / 855

页数：2

共 7 条

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