ALUMINUM-SILICON SCHOTTKY BARRIERS AND OHMIC CONTACTS IN INTEGRATED-CIRCUITS

被引:138
作者
CARD, HC [1 ]
机构
[1] COLUMBIA UNIV,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,NEW YORK,NY 10027
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1976.18449
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:538 / 544
页数:7
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