SOLID-STATE REACTIONS IN TITANIUM THIN-FILMS ON SILICON

被引：83

作者：

KATO, H ^{[1
]}

NAKAMURA, Y ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,SEMICOND & INTEGRATED CIRCUITS,KODAIRA,TOKYO,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90151-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：135 / 138

页数：4

共 7 条

BOWER, RW ;

MAYER, JW .

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