STRUCTURAL STUDY OF ALLOYED GOLD METALLIZATION CONTACTS ON INGAASP/INP LAYERS

被引:33
作者
VANDENBERG, JM
TEMKIN, H
HAMM, RA
DIGIUSEPPE, MA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.330364
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:7385 / 7389
页数:5
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