FORMATION AND PROPERTIES OF TISI2 FILMS

被引:40
作者
GULDAN, A [1 ]
SCHILLER, V [1 ]
STEFFEN, A [1 ]
BALK, P [1 ]
机构
[1] AACHEN TECH UNIV,INST SEMICOND ELECTR,SONDERFORSCH BEREICH FESTKORPERELECTR 56,AACHEN,FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(83)90223-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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