PHOTOCHEMICAL MICROETCHING OF GAAS

被引：10

作者：

MOTTET, S

HENRY, L

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19830628

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：919 / 920

页数：2

共 4 条

CHUANG, TJ .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1982, 21 (03) :798-806

[2] LASER MICROPHOTOCHEMISTRY FOR USE IN SOLID-STATE ELECTRONICS [J].

EHRLICH, DJ ;

OSGOOD, RM ;

DEUTSCH, TF .

[3]

MOTTET S, 1983, MASKLESS MICROETCHIN

OSGOOD, RM ;

SANCHEZRUBIO, A ;

EHRLICH, DJ ;

DANEU, V .