LOW-PRESSURE OMVPE OF GAAS USING TRIETHYLGALLIUM

被引:12
作者
KIMURA, K
TAKAGISHI, S
HORIGUCHI, S
KAMON, K
MIHARA, M
ISHII, M
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 09期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.1393
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1393 / 1396
页数:4
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