HIGH-QUALITY ZNSE FILM GROWTH BY 0.1-ATM MOVPE UNDER THE DIETHYLZINC DIFFUSION-LIMITED CONDITION

被引:24
作者
SHIBATA, N
OHKI, A
ZEMBUTSU, S
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS | 1987年 / 26卷 / 08期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.26.1305
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1305 / 1309
页数:5
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